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연제관 (성균관대학교) 임웅선 (성균 나노과학 기술원) 박재범 (성균 나노과학 기술원) 김이연 (성균관대학교) 강세구 (성균 나노과학 기술원) 염근영 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
406 - 406 (1page)

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