Nitrogen Depth Profiles in Ultrathin Oxynitride Films

H.K. Shon ,  H.J. Kang ,  H.S. Chang 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2002 .06

Characterization of tantalum oxynitride films synthesized by reactive magnetron sputtering

Nikola RADIC ,  Ma ,  ko JERCINOVIC 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Magnetic Sector SIMS을 이용한 Ultra Thin Oxynitride Film 분석

홍태은 ,  이종필 ,  고중규 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

XPS Depth profiling of Ultra Thin Oxynitride Film

홍태은 ,  연태원 ,  김종훈 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Nitrogen - incorporated (Ba, Sr)TiO₃ thin films fabricated by r.f. - magnetron sputtering

Won Taeg Lim ,  Yong Kuk Jeong ,  Chang Hyo Lee

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2000 .12

Quantitative depth profile of Nitrogen in ultrathin Oxynitride film with SIMS and MEIS

손현경 ,  강희재 ,  홍태은 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Improvement of Thin Film Characteristics by Controlling Nitrogen Contents Ratio of Silicon Oxynitride Gate Insulator Layer

김태용 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Change in the band alignment of silicon oxynitride films as a function of plasma nitridation condition

임찬중 ,  조만호 ,  이동원 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법

정현재 ,  이선영 ,  김형우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

방사광 X-선 반사도론 이용한 oxynitride 나노박막의 두께와 계면 거칠기 측정

장창환 ,  주만길 ,  신광수 외 2명

한국결정학회 학술연구발표회

2002 .01

Influences of Sputtering Gas Pressure and Gas Flow Rate on Microwave Characteristics of FeCoAlO Thin Films

Feng Xu ,  Nyugen Nyugen Phuoc ,  Chong Kim Ong

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2010 .12

Effect of post-annealing on structural and electrochemical properties of lithium phosphorus oxynitride thin film

Jaehwan Ko ,  Young Soo Yoon

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Study on the dielectric properties of zirconium oxide as different stirring condition

A ,  eum Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Fermentative Bio-Hydrogen Production of Food Waste in the Presence of Different Concentrations of Salt (Na+) and Nitrogen

이풀잎 ,  이태진

Journal of Microbiology and Biotechnology

2019 .01

CFD-ACE+를 이용한 Gas Flow Sputtering 공정 해석

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Reproducible bias-induced resistance switching in CoO_x thin films prepared by a RF sputtering method

June Sik Kwak ,  Young Ho Do ,  Yoon Cheol Bae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Nitrogen doped Titanium Oxide Thin Films Fabricated by DC Magnetron Sputtering Method

H. Jee ,  J. W. Jang ,  S. J. Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Effect of thickness and O₂ flow rate on the properties of ITO thin films deposited by RF magnetron sputtering for RGB LED applications

최은실 ,  권재현 ,  이용탁 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02