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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
장창환 (포항산업 과학연구원 재료물성분석팀) 주만길 (포항산업 과학연구원 재료물성분석팀) 신광수 (포항산업 과학연구원 재료물성분석팀) 오원태 (포항공과대학교 화학과) 이문호 (포항공과대학교 화학과)
저널정보
한국결정학회 한국결정학회 학술연구발표회 한국결정학회 2002년도 정기총회 및 추계학술연구발표회
발행연도
2002.1
수록면
44 - 44 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2003

고분해능 방사광 X-선 회절을 이용한 박막 구조분석
장창환 ,  노명근 ,  조만호 외 1명 한국결정학회 학술연구발표회 2003.01 학술대회자료

2002

방사광 X-선 반사도론 이용한 oxynitride 나노박막의 두께와 계면 거칠기 측정
장창환 ,  주만길 ,  신광수 외 2명 한국결정학회 학술연구발표회 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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방사광 X-선 반사도를 이용하여 나노 스케일의 두께를 가진 oxynitride 박막의 계면 구조 및 두께를 측정하였다. Oxynitride 박막에서 nitrogen 분포의 분석은 두께가 극도로 얇아지는 요즘의 반도체 제작에서 매우 중요한 과제로 대두되고 있다. (1) X-선 반사도 측정을 분석하여 박막 깊이에 따른 전자밀도분포와 계면에서의 거칠기 및 각 층의 두께가 결정되었다. X-선 반사도 측정 분석으로부터 Nitrogen은 SiO₂와 Si substrate 계면에 위치하며, 화학조성분포와 층 구조의 상관성을 SIMS를 이용한 조성분포 측정과 비교하였다.

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