Effect of thickness and O₂ flow rate on the properties of ITO thin films deposited by RF magnetron sputtering for RGB LED applications

최은실; 권재현; 이용탁; 유재수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최은실 (광주과학기술원) 권재현 (광주과학기술원) 이용탁 (광주과학기술원) 유재수 (경희대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 172 - 172 (1page)

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