Nitrogen Depth Profiles in Ultrathin Oxynitride Films

H.K. Shon ,  H.J. Kang ,  H.S. Chang 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2002 .06

Magnetic Sector SIMS을 이용한 Ultra Thin Oxynitride Film 분석

홍태은 ,  이종필 ,  고중규 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Quantitative depth profile of Nitrogen in ultrathin Oxynitride film with SIMS and MEIS

손현경 ,  강희재 ,  홍태은 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Effect of the flow rate of nitrogen sputter gas on the properties of thin zirconium oxynitride films

박주연 ,  조준모 ,  강용철

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Applications of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to Ta₂O₅ thin films on SiO₂/Si (100)

Chanae Pa ,  k ,  HongChol Chae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Analysis of corrosion on the Al(Cu 1%) surface using XPS

Sang-Gi Kim ,  Kyu-Ha Baek ,  Kwang-Ho Kwon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Reliable Thickness Measurement of Ultra-thin SiO2 Films using XPS by Precise Setting of the Surface Normal

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Change in the band alignment of silicon oxynitride films as a function of plasma nitridation condition

임찬중 ,  조만호 ,  이동원 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Characterization of In₂O₃ Films by AES and XPS

정재인 ,  문종호 ,  홍재화 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Characterization of tantalum oxynitride films synthesized by reactive magnetron sputtering

Nikola RADIC ,  Ma ,  ko JERCINOVIC 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Interfacial reaction of the Co thin films on Si(100) studied by XPS

Iea Young Hwang ,  Jong Ho Kim ,  Hee Jae Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Conversion from SIMS depth profiling to compositional depth profiling of multi-layer films

Jong Shik Jang ,  Hye Hyen Hwang ,  Hee Jae Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

방사광 X-선 반사도론 이용한 oxynitride 나노박막의 두께와 계면 거칠기 측정

장창환 ,  주만길 ,  신광수 외 2명

한국결정학회 학술연구발표회

2002 .01

Decision of Interface and Depth Scale Calibration of Multilayer Films by SIMS Depth Profiling

Hye Hyun Hwang ,  Jong Shik Jang ,  Hee Jae Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

A study of sputter XPS depth profiling of Ta₂O5 / Si without preferential sputtering problems.

김경중 ,  문대원

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

The Calibration of the Emission Angle in AR-XPS for Depth Measurements via Computer Simulations

Seung Mi Lee ,  Kyung Joong Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Aluminium oxynitride (ALON) formation by N-ion implantation into Al2O3

김재운 ,  박재원

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Current Problems in the Quantization of the XPS

Chanyong Hwang

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Transition Temperature of Ultra Thin Magnetic films

H. Nakhaee Motlagh ,  H. Mo ,  adi

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

XPS analysis method for reducing X-ray damage of organic film with high fluorine content

Jinhyuk Min ,  Ji-Yeon Byeon ,  Paeng 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02