Effect of Pressure and Temperature on Al-doped Zinc Oxide Thin Films Deposited by Radio Frequency Magnetron Sputtering

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Fabrication of ZnSn Thin Films Obtained by RF co-sputtering

Lee ,  Seokhee ,  Pa 외 11명

조선자연과학논문집

2016 .01

Surface properties of Nb oxide thin films prepared by rf sputtering

박주연 ,  강용철

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법

정현재 ,  이선영 ,  김형우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Effect of H₂S Mixed Gas on the Properties of SnS Thin Films and Solar Cells Prepared by RF Magnetron Sputtering

이상운 ,  이승곤 ,  신동혁 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Optimization for electrical and structural properties of aluminum thin films deposited on glass by DC magnetron sputtering

Shahinu ,  RAHMAN ,  Heon-Ju LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Electrical and optical properties of Ga-doped ZnO thin films prepared by RF magnetron Co-sputtering systems

Nam-Jung KIM ,  Naeho SHIN ,  Chang-Su HWANG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Surface analysis and characterization of Zn, Sn, and ZnSn thin films with various thickness

이석희 ,  박주연 ,  강유진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Fabrication of TiO2 thin films for perovskite solar cell using RF magnetron sputter

Kyungjin Cho ,  Seunghun Lee ,  Seongtak Kim 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power

Deok Kyu Kim ,  Hong Bae Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .11

Analysis of a-IGZO channel layer deposited via Pulsed-DC sputtering

Jiwon Choi ,  Jaemin Kim ,  Eun-Chel Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Zn-S-O thin films synthesized by RF sputtering employing ZnO and ZnS targets for CIGS solar cell applications

Jae-Cheol Pa ,  k ,  Mowafak Al-Jassim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Characteristics of ZnS Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Room Temperature for Buffer Layer Application in Thin Film Solar Cells

김준아 ,  박정환 ,  한태구 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Structural influence of Al-doped zinc oxide thin films on nano-textured silicon substrate by RF magnetron sputtering

Sel Gi RYU ,  Hyung Yong JI ,  Bhaska 외 4명

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2016 .08

Investigation of copper-zinc thin film obtained by RF co-sputtering method

최아롬 ,  박주연 ,  강유진 외 3명

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2017 .02

RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Annealing 변화에 따른 특성 연구

진창현 ,  김홍배

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2015 .08

Structure and dielectric properties of bismuth magnesium niobate thin films by RF magnetron sputtering

Libin GAO ,  Shuwen JIANG ,  Le LI 외 2명

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2016 .08

Annealing temperature effect on the SnSe thin film obtained by RF co-sputtering

Donghyun Kim ,  Juyun Pa ,  k 외 4명

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2020 .02