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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제9회 학술발표회논문개요집
발행연도
1995.6
수록면
81 - 82 (2page)

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1996

식각 용기 가열에 의한 라디칼 손실 제어가 고선택비 산화막 식각에 미치는 영향
김정훈 ,  이호준 ,  주정훈 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 1996.06 학술저널

1995

라디칼 손실 제어를 통한 고선택비 산화막 식각
김정훈 ,  이호준 ,  주정훈 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1995.06 학술대회자료

초록· 키워드

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약한 자장을 사용하는 평면형 유도 결합 플라즈마 식각 장치에서 라디칼의 농도 제어를 위하여 벽면온도를 증가시켜 라디칼 손실을 줄였다. 폴리머를 잘 형성하는 C₄F_8의 경우 이에 따라 식각 특성이 25% 정도 개선되었고, OES(optic ... 전체 초록 보기

목차

요약

1. 서론

2. 본론

3. 결론

참고문헌

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