대향타겟식 스퍼터법으로 제작된 ZnO / Glass 박막의 결정학적 특성에 관한 연구

금민종 ,  성하윤 ,  공석현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

후열처리에 따른 스퍼터된 ZnO : Al 박막의 전기적, 광학적 특성

김덕규 ,  김홍배

Applied Science and Convergence Technology

2013 .01

ZnO : Al 투명전도막의 제작

금민종 ,  양진석 ,  성하윤 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

원자층증착법으로 ZnO:Al과 Al₂O₃를 코팅한 ZnO 나노막대의 광학적 특성

신용호 ,  이수연 ,  김용민

Applied Science and Convergence Technology

2010 .09

선형 대향 타겟 스퍼터 시스템으로 성장시킨 GaN-LED용 Ga-doped ZnO 박막 특성 연구

신현수 ,  이주현 ,  김한기

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering

김창훈 ,  신승학 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

대향타켓식 스퍼터법으로 증착된 ZnO / Glass 박막의 결정학적 특성에 관한 연구

금민종 ,  성하윤 ,  손인환 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12

DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 대면적 투명전도성 ZnO(Al)와 ZnO(AlGa) 박막제조 및 물리적 특성 연구

손영호 ,  최승훈 ,  박중진 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2013 .05

박막태양전지용 투명전도성 ZnO(Al), ZnO(AlGa) 박막제조 및 특성 연구

손영호 ,  박중진 ,  최승훈 외 10명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Properties of ZnO : Al thin films prepared by a single target sputtering

Ilsin An ,  Chang-Hyo Lee ,  You-Shin Ahn 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .10

기판온도변화에 따른 ZnO : Al 박막의 제작

금민종 ,  조범진 ,  김현웅 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

ZnO Buffer Layer에 의한 ZnO 박막의 결정학적 특성에 관한 연구

금민종 ,  손인환 ,  이정석 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .12

ZnO 박막의 압전특성에 관한 연구

박성순 ,  임원택 ,  이창효

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Annealing effects on the characteristics of Sputtered ZnO films for ZnO-based thin-film transistors

Yong Seob Pa ,  k ,  Han-Ki Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

The Low Temperature Synthesis of ZnO Thin Films by Facing Target Sputtering

송두훈 ,  김연준 ,  최윤석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

반응성 스퍼터링으로 제조한 크롬이 첨가된 ZnO : Al 박막의 전ㆍ자기적 특성

김현중 ,  심재호 ,  김효진 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2004 .06

ZnO 박막과 유전체 박막으로 구성된 이중구조의 물성 및 표면 탄성파 특성

이용의 ,  김형준

한국결정학회지

1995 .01

The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering

신승학 ,  이준형 ,  허영우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

선정호 ,  강현철

Applied Science and Convergence Technology

2009 .09