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학술저널
저자정보
Jeon-Hong Kang (Korea Research Institute of Standards and Science) Sang-Hwa Lee (Korea Research Institute of Standards and Science) Kwang-Min Yu (Korea Research Institute of Standards and Science)
저널정보
대한전기학회 Journal of Electrical Engineering & Technology Journal of Electrical Engineering & Technology Vol.12 No.3
발행연도
2017.5
수록면
1,314 - 1,319 (6page)

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A handheld sheet resistance meter that can easily and quickly measure the sheet resistance of indium tin oxide films was developed. The dual-configuration four-point probe method was adopted for this instrument, which measured sheet resistance in the range from 0.26 /sq. to 2.6 k/sq. with 0.3 % ~ 0.5 % uncertainty. The screen of the instrument displayed the sheet resistance when the probe was in contact with the sample surface and the value continued to be displayed during the probe contact. Even after separating the probe from the surface, the value was still displayed on the screen and could be read easily. A feature of the instrument was the use of the dual-configuration technique to reduce edge effects markedly compared with the single-configuration technique and its ease of operation without applying correction factors for sample size and thickness.
#Four-point probe method #Singe & # dual configuration #Col-linear four point probe #Resistance #Resistivity #Sheet resistance #Silicon wafer #Linearity #Accuracy #Uncertainty

목차

Abstract
1. Introduction
2. Four-Point Probe (FPP) Method
3. Design and Manufacture of the Sheet Resistance Meter
4. Conclusion
References

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
Arther Uhlir, JR, “The Potentials of Infinite Systems of Sources and Numerical Solutions of Problems in Semiconductor Engineering,” Bell System Technical Journal, vol. 34, no. 1, pp. 105-128, 1955. L. B. Valdes, “Resistivity Measurements on Germaniumfor Transistors,” Proceedings of the Institute of Radio Engineers New York, vol. 42, pp. 420-427, Feb. 1954. F. M. SMITS, “Measurement of Sheet Resistivities with the Four-Point Probe,” Proceedings of the Institute of Radio Engineers, pp. 711-718, May 1958. ASTM F84, “Standard Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers with an In-Line Four- Point Probe.” Lydon J. Swartzendruber, “Correction Factor Tables for Four-Point Probe Resistivity Measurements on Thin, Circular Semiconductor Samples,” NBS technical note 199, April 1964.

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