메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
조금배 (조선대학교) 이강연 (조선대학교) 최연옥 (조선대학교) 김남오 (조선이공대학) 정병호 (남부대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제59권 제7호
발행연도
2010.7
수록면
1,255 - 1,258 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
In this paper, the CoSi₂ thin films with thicknesses of about 5 ㎛ were deposited on n-type silicon (111) substrates by RF magnetron sputtering method using a CoSi₂ target (99.99%). The flow rate of argon of 50 sccm, substrate temperature of 100 ℃, RF power of 60 watts, deposition time of 30 minutes, and the vacuum of 1×10?? Torr. The annealing treatments of the CoSi₂ thin film were performed from 500, 700 and 900 ℃ for 1h in air ambient by an electric furnace. In order to investigate the CoSi₂ thin film X-ray diffraction patterns were measured using the X-ray diffractometer (XRD). The structure of the thin films were investigated by using scanning the electron microscope (SEM) were used for review. The surface morphology of the thin films was measured with a atomic force microscopy (AFM). Temperature dependence of sheet resistivity and property of Hall effect was measured in the CoSi₂ thin film.
#CoSi₂ Thin Film #Electric Furnace #Sheet Resistivity #SEM Micrographs #Optical Transmittance

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Laser CVD Repair Source 특성 비교에 대한 연구
정성원 ,  정덕호 ,  노순준 대한기계학회 춘추학술대회 2011 .11
CVD 공정 STI Void Mechanism 규명 및 개선
김나경 ,  김경호 ,  이호철 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .10
CVD공정에 의해 증착된 DLC (Diamond-like Carbon) 박막의 질화층 형성에 따른 밀착력 특성 연구
박민석 ,  김왕렬 ,  신창석 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012 .02
박막제조 기술의 동향과 전망
정재인 ,  양지훈 한국자기학회지 2011 .10
DC magnetron 방법과 RF 스퍼터링 방법으로 제작된 Nickel Oxide 박막의 특성 연구
최광남 ,  박준우 ,  백승호 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2007 .07

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-560-002424537