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저자정보
김종렬 (수원대학교 전자재료공학과) 배규식 (수원대학교 전자재료공학과) 박윤백 (현대전자[주] 반도체 사업부) 백태선 (현대전자[주] 반도체 사업부) 조윤성 (현대전자[주] 반도체 사업부)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1995년도 추계 학술발표 강연 및 논문개요집
발행연도
1995.1
수록면
6 - 6 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1995

Co/Ti 두께비가 $CoSi_2$ 에피박막 형성에 미치는 영향
김종렬 ,  배규식 ,  박윤백 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 1995.01 학술대회자료

1994

Co/Ti이중박막을 이용한 $CoSi_2$에피박막형성에 관한 연구
김종렬 ,  배규식 ,  박윤백 외 1명 한국재료학회지 1994.01 학술저널

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