DC magnetron 방법과 RF 스퍼터링 방법으로 제작된 Nickel Oxide 박막의 특성 연구

최광남; 박준우; 백승호; 이호선; 곽성관; 정관수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최광남 박준우 백승호 이호선 곽성관 정관수

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2007년도 하계종합학술대회 논문집Ⅰ(통신/신호처리/산업전자) 제30권 제1호

발행연도: 2007.7

수록면: 441 - 442 (2page)

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2007

DC magnetron 방법과 RF 스퍼터링 방법으로 제작된 Nickel Oxide 박막의 특성 연구

최광남 , 박준우 , 백승호 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료

DC magnetron 방법과 RF 스퍼터링 방법으로 제작된 Nickel Oxide 박막의 특성 연구

최광남 , 박준우 , 백숭호 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료

반응성 DC 스퍼터링 방법으로 증착된 Nickel Oxide 박막의 산소 분압에 따른 조성비 특성

최광남 , 박준우 , 이호선 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

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