신장 아크 반응기를 이용한 CF₄ 처리특성

김관태; 이대훈; 이재옥; 차민석; 송영훈

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저자정보: 김관태 이대훈 이재옥 차민석 (한국기계연구원) 송영훈

저널정보: 한국대기환경학회 한국대기환경학회지(국문) 한국대기환경학회지 제26권 제1호

발행연도: 2010.2

수록면: 85 - 93 (9page)

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CF₄ removal characteristics were investigated using an elongated arc reactor. The advantage of the elongated arc reactor includes direct use of treated gas as plasma operating gas and the enhancement of the removal reaction by using a thermo-chemistry and a plasma induced chemistry at the same time. Geometrical configurations, such as the length of the reactor and the shape of a throat, were tested to get an optimized removal efficiency with low power consumption. As results, over 95% of CF₄ removal was obtained with 300 lpm of total flowrate for various CF₄ concentration (0.1~1%). Corresponding specific energy density (SED), which means required electrical energy to treat the unit volume of treated gas, is about 3.5 kJ/L, The present technique can be applied to real applications by satisfying three major concerns, those are the high flowrate of treated gas, high removal efficiency (＞95%), and low power consumption (＜10 kJ/L).

#PFCs(Perfluorocompounds) #Tetrafluoromethane(CF₄) #Elongated arc #Abatement

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1. [학술지(정기간행물)] - Chang, M.B. / 2006 / Abatement of PFCs from semiconductor manufacturing process by nonthermal plasma technologies / A critical review, Ind. Eng.Chem. Res. 45 : 4101 ~ 4109

2. [학술지(정기간행물)] - Fridman, A. / 1999 / Gliding arc gas discharge / Progress in Energy and Combustion Science 25 : 211 ~ 231

3. [학술지(정기간행물)] - Glocker, B. / 2000 / 1-40 kW steam respectively multi gas thermal plasma torch system / Vacuum 59 : 35 ~ 46

4. [기타자료] - International SEMATECH Technology Transfer / 1998 / Current status of technology: Perfluorocompound (PFC) Emissions reduction, #98053508A-TR

5. [기타자료] - International SEMATECH Technology Transfer / 1999 / Long-Term Evaluation of the Litmas “Blue” Plasma Device for Point-of-Use (POU) Perfluorocompound and Hydro fluorocarbon Abatement, #99123865BENG

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