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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제4호
발행연도
1995.12
수록면
417 - 424 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1995

전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 CF₄+H₂ 가스 방전시 Appearance Mass Spectrometry와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린 원자의 거동에 관한 연구
도현호 ,  김정훈 ,  이석현 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 1995.12 학술저널
전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 CF₄ 방전사 Appearance Mass Spectrometry 와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린 원자의 거동에 관한 연구
도현호 ,  김정훈 ,  이석현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1995.06 학술대회자료

초록· 키워드

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전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서 CF₄를 방전시켰을 때 각종 플루오로카본 래디칼의 절대적, 상대적 밀도 변화를 수소 첨가율, 동작 압력 그리고 축방향에 따라 appearance mass spectrometry(AMS)를 통해 조사하였으며, 플루오린 원자의 상대적 밀도 변화가 actinometry법에 의해 조사되었다. 수소첨가에 따른 CF₂ 래디칼의 거동을 actinometry와 AMS로 살펴보았을 때 서로 일치하는 경향을 얻었으며 마이크로웨이브 전력 500W, 압력 7.5 mTorr에서 CF₃와 CF₂ 래디칼의 밀도가 CF에 비해 높았으며 각각 2×10¹³㎤, 1×10¹³/㎤의 값을 가졌다. 수소를 첨가함에 따라 플루오린 원자와 CF₃의 밀도는 감소하는 반면 CF₂와 CF의 밀도는 현저히 증가하여 수소가 40% 첨가된 경우 CF₂의 밀도가 CF₃보다 커짐을 확인하였다. 또한, CF₂가 증가하면서 C₂F₄의 존재가 확인되었으며, 수소가 30% 첨가된 경우 축방향을 따라 C₂F₄ 래디칼만이 증가하였고 플루오린 원자는 감소하는 반면 다른 CF_χ(χ=1~3) 래디칼은 거의 변화가 없었다. 이러한 실험 결과를 토대로 CF₄+H₂ 플라즈마를 이용한 산화막 식각 특성이 설명되었다.

목차

요약

ABSTRACT

1. 서론

2. 실험장치 및 구성

3. 결과 및 토론

4. 결론

참고문헌

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