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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.12
- 수록면
- 624 - 632 (9page)
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Perfluorocarbons (PFCs) are widely used in semiconductor industry. These gases need to be removed efficiently because of their strong absorption of infrared radiation and long atmospheric lifetimes which cause the global warming effect.
To destruct CF₄, a waterjet gliding arc plasma was designed and manufactured. The highest CF₄ destruction showed at waterjet plasma case, compared to plasma discharge only or water scrubber only, respectively. In addition, it could be known that the CF₄ destruction should be associated with the electron and OH radicals.
The operating conditions such as waterjet flow rate, initial CF₄ concentration, total gas flow rate, specific energy input were investigated experimentally using a plasma waterjet scrubber. Through the parametric studies, the highest CF₄ destruction of 94.5% was achieved at 0.2% CF₄, 2.1 kJ/L SEI, 20 L/min total gas flow rate and 18.5 mL/min waterjet flow rate.
To destruct CF₄, a waterjet gliding arc plasma was designed and manufactured. The highest CF₄ destruction showed at waterjet plasma case, compared to plasma discharge only or water scrubber only, respectively. In addition, it could be known that the CF₄ destruction should be associated with the electron and OH radicals.
The operating conditions such as waterjet flow rate, initial CF₄ concentration, total gas flow rate, specific energy input were investigated experimentally using a plasma waterjet scrubber. Through the parametric studies, the highest CF₄ destruction of 94.5% was achieved at 0.2% CF₄, 2.1 kJ/L SEI, 20 L/min total gas flow rate and 18.5 mL/min waterjet flow rate.
목차
Abstract
1. 서론
2. 플라즈마 반응의 메카니즘
3. 실험
4. 결과 및 고찰
5. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
2. [학술지(정기간행물)] - Buxton, G.V. / 1988 / Critical review of rate constants for reactions of hydrated electrons, hydrogen atoms and hydroxyl radicals in aqueous solution / Journal of Physical and Chemical Reference Data 17 : 513 ~ 886
3. [학술지(정기간행물)] - Du, C.M. / 2007 / Electrical and spectral characteristics of a hybrid gliding arc discharge in air-water / IEEE Transactions on Plasma Science 35 (6) : 1648 ~ 1650
4. [학술지(정기간행물)] - Du, C.M. / 2007 / Decomposition of toluene in a gliding arc discharge plasma reactor / Plasma Sources Science and Technology 16 : 791 ~ 797
5. [학술지(정기간행물)] - Hong, Y.C. / 2003 / Reduction of perfluorocompound emissions by microwave plasmatorch / Thin Solid Films 435 : 329 ~ 334
6. [학술지(정기간행물)] - Indarto, A. / 2007 / Gliding arc plasma processing of CO2 conversion / Journal of Hazardous Materials 146 : 309 ~ 315
3. [학술지(정기간행물)] - Du, C.M. / 2007 / Electrical and spectral characteristics of a hybrid gliding arc discharge in air-water / IEEE Transactions on Plasma Science 35 (6) : 1648 ~ 1650
4. [학술지(정기간행물)] - Du, C.M. / 2007 / Decomposition of toluene in a gliding arc discharge plasma reactor / Plasma Sources Science and Technology 16 : 791 ~ 797
5. [학술지(정기간행물)] - Hong, Y.C. / 2003 / Reduction of perfluorocompound emissions by microwave plasmatorch / Thin Solid Films 435 : 329 ~ 334
6. [학술지(정기간행물)] - Indarto, A. / 2007 / Gliding arc plasma processing of CO2 conversion / Journal of Hazardous Materials 146 : 309 ~ 315
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