Investigation of In Situ NH₃ and N₂O Plasma Treatment on AlGaN/GaN High Electron Mobility Transistors

Dohyun Kim ,  Hyun-Wook Jung ,  Sung-Jae Chang 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2024 .09

Development of methodology for Individual control of ion and radical in dual freqeuncy(13.56 ㎒ + 400 ㎑) pulsed Ar/CF₄/O₂ plasma

정원녕 ,  이장재 ,  이영석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

MoS2 layer etching using CF4 plasma and H2S plasma treatment

양경채 ,  박성우 ,  김경남 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

워터젯 플라즈마 스크러버 사불화탄소 분해 특성

임문섭 ,  전영남

한국기후변화학회지

2017 .03

Study on the Etching properties by using Inductively Coupled CF₄/C₄F8/O₂ & CF₄/CBr₂F₂/O₂ plasmas

Yunho Nam ,  Junmyung Lee ,  Jongchan Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

CF₄/O₂/Ar 플라즈마를 이용한 3D프린팅으로 성형된 티타늄 파트의 식각 표면 관찰

권오형 ,  김형균

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

[RE100으로 가는 길 ①] RE100 보완하는 CF100, 수소의 유연함에 주목한다

성재경

월간수소경제

2023 .08

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

마이크로스트립 라인을 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 기술 및 응용

김재호

진공이야기

2020 .09

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Characteristics of the Plasma Source for Ground Ionosphere Simulation Surveyed by Disk-Type Langmuir Probe

류광선 ,  이준찬 ,  김손구 외 5명

Journal of Astronomy and Space Sciences

2017 .12

Preparation and characterization of carbon fiber-reinforced thermosetting composites: a review

Jin ,  Fan-Long ,  Pa 외 2명

Carbon letters

2015 .01

Inductively Coupled Plasma Simulation Based on Electron Energy Distribution Function and Process Pressure

So ,  a Lee ,  Yejin Shon 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .11

Effect of different Al compositions on AlGaN/GaN HEMTs of Low-frequency noise

최여진 ,  임기식 ,  최진석 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Plasma Farming : Comprehensive Plasma Application to Agriculture

Suk Jae Yoo

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08