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한국대기환경학회 한국대기환경학회지(국문) 한국대기환경학회지 제20권 제5호
발행연도
2004.10
수록면
625 - 632 (8page)

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Perfluorocompounds (PFC_s), such as tetrafluoromethane (CF₄) and hexafluoroethane (C₂F_6), have been widely used as plasma etching and chemical vapor deposition (CVD) gases for semiconductor manufacturing processes. Since these PFC_s are known to cause a greenhouse effect intensively, there has been a growing interest in reducing PFC_s emissions. Among various CF₄ decomposing techniques, a dielectric barrier discharge (DBD) is considered as one of a promising candidate because it has been successfully used for generating ozone (O₃) and decomposing nitrogen oxide (NO).
Firstly, optimal concentration of oxygen for CF₄ decomposition was found to figure out how many primary and secondary reactions are associated with DBD process. Secondary, to find effective discharge method for CF₄ decomposition, a streamer and a glow mode in DBD are experimentally compared, which includes (ⅰ) coaxialcylinder DBD, (ⅱ) DBD reactor packed with glass beads. and (ⅲ) a glow mode operation with a helium gas. The test results showed that optimal concentration of oxygen was ranged 500 ppm~1% for treating 500 ppm of CF₄ and helium glow discharge was the most efficient one to decompose CF₄.

목차

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

참고문헌

참고문헌 (10)

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