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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제1호
발행연도
2000.2
수록면
76 - 80 (5page)

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유도 결합에 의해 생성된 C₄F_8 플라즈마내의 CF 및 CF₂ 라디칼을 레이저 유도 형광법(Laser-Induced Fluorescence)을 이용하여 관측하였다. 25l.9 ㎚ UV 레이저를 이용하여 CF₂ 종을 여기시킨 후, 유도 형광되는 265.2 ㎚ 파장의 빛으로 CF₂ 라디칼을 모니터링하였으며, CF 라디칼의 경우는 파장 232.9 ㎚의 레이저를 이용해서 여기시킨 후, 파장 240.0 ㎚의 유도 형광되는 빛으로 관측하였다. 기판 근처의 CF₂ 라디칼밀도 분포를 관측한 결과, 기판에 가까워칠수록 CF₂ 라디칼의 양이 증가하는 것으로 관측되었다. 그러나 CF 라디칼 밀도는 기판에서 10㎜정도 떨어진 지점에서 최대값을 가졌고, Actinometry 방법을 통해 관측된 플루오린 원자의 빌도 분포는 기판에서 멀어질수록 약간 증가하는 것으로 나타났으며, 이러한 차이는 기판에 형성되는 폴리머와 밀접한 관계를 갖는 것으로 사료된다. 바이어스 전압을 증가시켰을 경우, CF 및 CF₂ 라디칼은 감소를 하였으나, 플루오린의 양은 어느 정도 증가하다가 감소하는 것으로 나타났는데, 이는 바이어스 전력에 의한 이온화 및 해리에 의한 것으로 사료된다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 장치

3. 실험 결과

4. 토의

5. 결론

참고문헌

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