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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 ICS;07 정보 및 제어 심포지움 논문집
발행연도
2007.4
수록면
86 - 88 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2007

데이터 퓨전 기법을 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계의 오차보정
허건행 ,  성욱진 ,  이우람 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료
데이터 퓨전 기법을 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계의 오차보정
허건행 ,  성욱진 ,  이우람 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료
신경망 회로를 이용한 레이저 간섭계의 적응형 오차보정
허건행 ,  이우람 ,  유관호 정보 및 제어 논문집 2007.04 학술대회자료
신경망 회로를 이용한 레이저 간섭계의 적응형 오차보정
허건행 ,  이우람 ,  유관호 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.04 학술대회자료

초록· 키워드

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In the semiconductor manufacturing industry, the heterodyne laser interferometer plays as an ultra-precise measurement system. However, the heterodyne laser interferometer has some unwanted nonlinearity error which is caused from frequency-mixing. This is an obstacle to improve the measurement accuracy in nanometer scale. In this paper we propose a compensation algorithm based on RLS(recursive least square) method and artifici ... 전체 초록 보기
#Nonlinearity #laser interferometer #Neural Network #capacitive displacement sensor #RLS

목차

Abstract
1. 서론
2. 헤테로다인 레이저 간섭계에서의 비선형성
3. 비선형성 오차보정
4. 실험결과
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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