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저자정보
이우람 (성균관대학교) 김동균 (성균관대학교) 김창래 (성균관대학교) 유관호 (성균관대학교)
저널정보
대한전기학회 정보 및 제어 논문집 ICS 2010 정보 및 제어 심포지엄 논문집
발행연도
2010.4
수록면
246 - 247 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

적응형 듀얼 칼만필터 기반의 레이저 간섭계의 비선형성 오차 보정 기법
이우람 ,  김동균 ,  김창래 외 1명 정보 및 제어 논문집 2010.04 학술대회자료

2006

적응형 알고리즘에 의한 레이저 간섭계의 비선형성 오차 보정
이우람 ,  홍민석 ,  최인성 외 1명 정보 및 제어 논문집 2006.04 학술대회자료

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As a ultra-precise measurement apparatus, the heterodyne laser interferometer system has been widely used in various industrial fields. However the system has an obstacle to improve the high measurement accuracy in nanometrology - the periodical nonlinearity property caused from frequ ... 전체 초록 보기

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