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As an ultra-precision measurement system the heterodyne laser interferometer plays an important role in semiconductor industry. However the errors of environment and nonlinearity which are caused by air refraction and frequency-mixing separately reduce the accuracy of displacement measurement. In this paper we propose a DFNN(data fusion and neural network) method for error compensation. As a hybrid method of data fusion and neural network, DFNN method reduces the environmental and nonlinear error simultaneously. The effectiveness of the proposed error compensation method is proved through experimental results.
목차
Abstract
1. 서론
2. 적응형 오차 보정
3. 실험 결과
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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참고문헌 (7)
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1. [학술지(정기간행물)] - H.C. Yeh / 2005 / Digital closed-loop nanopositioning using rectilinear flexure stage and laser interferometer / Control Engineerig Practice 13 : 559 ~ 566
2. [학술지(정기간행물)] - W.T. Estler / 1985 / High-accuracy displacement interferometry in air / Applied Optics 24 (6) : 808 ~ 815
3. [학술지(정기간행물)] - J. Lawall / 2000 / Michelson interferometry with 10 pm accuracy / Review of Scientific Instruments 71 : 2669 ~ 2676
4. [학술지(정기간행물)] - N. Bobroff / 1987 / Residual errors in laser interferometer from air turbulence and nonlinearity / Applied Optics 26 : 2676 ~ 2682
5. [학술지(정기간행물)] - T.J. Park / 2005 / Real-time precision displacement measurement interferometer using the robust discrete time Kalman filter / Optics & Laser Technology 37 : 229 ~ 234
2. [학술지(정기간행물)] - W.T. Estler / 1985 / High-accuracy displacement interferometry in air / Applied Optics 24 (6) : 808 ~ 815
3. [학술지(정기간행물)] - J. Lawall / 2000 / Michelson interferometry with 10 pm accuracy / Review of Scientific Instruments 71 : 2669 ~ 2676
4. [학술지(정기간행물)] - N. Bobroff / 1987 / Residual errors in laser interferometer from air turbulence and nonlinearity / Applied Optics 26 : 2676 ~ 2682
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