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한국동력기계공학회 동력시스템공학회지 한국동력기계공학회지 제10권 제2호
발행연도
2006.5
수록면
99 - 103 (5page)

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The laser interferometer has been used for measurement of the micro displacement error. Although the laser interferometer is widely accepted as a tool for measurement of motion accuracy, the set-up procedure is time-consuming because of the strict requirement on alignment between a laser head and optic units. This paper addresses the development of a laser interferometer to measure the micro displacement for a micro machine. The portable laser interferometer which integrates a laser probe and optics, is developed for the convenient measurement. For the experiment, moving mirror set up on the micro stage. The velocity decoding board is also added to calculate doppler shift frequency directly. The output signal is obtained and analyzed by LabView. Finally experiments are found out the relation between micro displacement and output signal.
#Heterodyne Laser Interference(헤테로다인 레이저 간섭계) #Micro displacement measurement(미세 변위 측정) #Portable laser interferometer(이동형 레이저 간섭계) #Real-time measurement(실시간 측정)

목차

Abstract
1. 서론
2. 헤테로다인 레이저 간섭계
3. 미세 변위 측정
4. 결론
참고 문헌

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