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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 CICS 정보 및 제어 학술대회 논문집
발행연도
2007.10
수록면
225 - 226 (2page)

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2007

데이터 퓨전 기법을 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계의 오차보정
허건행 ,  성욱진 ,  이우람 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료
데이터 퓨전 기법을 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계의 오차보정
허건행 ,  성욱진 ,  이우람 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료
신경망 회로를 이용한 레이저 간섭계의 적응형 오차보정
허건행 ,  이우람 ,  유관호 정보 및 제어 논문집 2007.04 학술대회자료
신경망 회로를 이용한 레이저 간섭계의 적응형 오차보정
허건행 ,  이우람 ,  유관호 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.04 학술대회자료

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In the semiconductor manufacturing industry, the heterodyne laser interferometer plays as an ultra-precise measurement system. However, the heterodyne laser interferometer has some unwanted environmental error which is caused from refraction in the air. This is an obstacle to improve the measurem ... 전체 초록 보기

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