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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 CICS 정보 및 제어 학술대회 논문집
발행연도
2007.10
수록면
271 - 272 (2page)

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2007

WLS를 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계에서의 비선형 오차 보정
차형석 ,  이우람 ,  유관호 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료
WLS를 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계에서의 비선형 오차 보정
차형석 ,  이우람 ,  유관호 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료

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In heterodyne laser interferometer, we use a phase difference between two beams to calculate target's length. However, there exist an nonlinearity error when measuring length in nanoscale. It is caused from frequency-mixed problem of two polarized beams, ca ... 전체 초록 보기

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