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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 레이저 빔의 광촉 변위 제어
3. 설계 및 구동 특성 해석
4. PAM의 제작 공정
5. 특성 측정 및 토의
6. 결론
참고문헌
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1996 .07
미세 가공기술의 센서 및 액튜에이터에의 응용
전기의세계
1994 .09
스캐닝 마이크로미러를 이용한 거리 측정 시스템
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Characteristics measurement of fabricated micromirror array with vertical springs
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Large-area {110} micromirror based on anisotropic wet etch
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Fast and Fine Tracking Control System Using Coarse/Fine Compound Actuation
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2000 .10
마이크로미러의 스퀴즈 댐핑 효과에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
Design and fabrication of a micromirror using silicon bulk micromachining for out-of-plane right angle reflection
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
SMA 액튜에이터를 이용한 유연구조물의 진동 제어 실험적 고찰
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
1994 .04
A Two-Step Micromirror for Low Voltage Operation
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2005 .12
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