Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

MEMS기술을 이용한 가속도계의 실리콘 펜들럼 설계 및 제작공정에 관한 연구

제우성 ,  정귀상

제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집

1998 .12

SOI 구조를 이용한 실리콘 압저항 가속도계의 설계 및 제작

양의혁 ,  양상식 ,  한상우

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

압전저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1992 .10

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구 ( Study on a Silicon Resonator for Piezoresistive Accelerometers )

양상식 ,  양의혁

대한기계학회 춘추학술대회

1992 .01

P⁺ 실리콘 박막을 이용한 폴리실리콘 압저항 가속도계의 제작 및 측정

양의혁 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

새로운 구조를 갖는 실리콘 가속도계의 재평형 루프 설계

성상경 ,  이장규 ,  강태삼 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

2 자유도 가속도계 제작 및 오차보정

김일선 ,  이장규 ,  박찬국 외 2명

한국항공우주학회지

1990 .09

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

위치제어용 가속도계의 Silicon Pendulum 설계및제작에 관한연구

조인호 ,  문도민 ,  제우성 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

국산 고정밀 가속도계의 건설 구조물 적용성 평가

권남열 ,  강두영 ,  손훈

한국전산구조공학회논문집

2016 .01

2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작

전연화 ,  박기웅 ,  김현철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

변수적 강인해석기법을 이용한 실리콘 가속도계의 재평형루프 설계

成常慶 ,  李章揆 ,  康泰三

전기학회논문지 D

2000 .03

p+ 컨틸레버 빔을 이용한 다결정 실리콘 압저항 가속도계의 제작

지영훈 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

두 개의 가속도계를 이용한 배관 감육 감시

최영철 ,  박진호 ,  윤두병

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2008 .11

가속도계를 이용한 배관 감육 감시 방법

최영철 ,  박진호 ,  윤두병 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2006 .11

퍼지 기법을 이용한 가속도계 혼합 알고리즘

진용 ,  조성윤 ,  박찬국

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2001 .10

An Accelerometer with Polysilicon Piezoresistors Bulk-Micromachined Using a p+ Silicon Etch-Stop Layer

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1996 .10

GPS와 가속도계를 이용한 거대구조물 모니터링

박운용 ,  장상규 ,  이현우 외 1명

대한토목학회 학술대회

2003 .10