압전저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구 ( Study on a Silicon Resonator for Piezoresistive Accelerometers )

양상식 ,  양의혁

대한기계학회 춘추학술대회

1992 .01

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1992 .10

2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작

전연화 ,  박기웅 ,  김현철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

SOI 구조를 이용한 실리콘 압저항 가속도계의 설계 및 제작

양의혁 ,  양상식 ,  한상우

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

빔 위치변화에 따른 4빔 압저항형 실리콘 가속도 센서의 제조 및 특성비교 ( Fabrication and Characteristics Comparison of Piezoresistive Four Beam Silicon Accelerometer Based on Beam Location )

신현옥 ,  손승현 ,  최시영

전자공학회논문지-D

1999 .07

회생층에 대한 다결정 실리콘의 특성 변화의 평가와 컨티레버의 응용

김형동 ,  백승호 ,  박재홍 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

8개의 빔을 갖는 압저항형 실리콘 가속도 센서의 제조 ( Fabrication of Piezoresistive Silicon Acceleration Sensor with Eight Beams )

심준환 ,  김우정 ,  유인식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

8개의 빔을 갖는 압저항형 실리콘 가속도센서의 제조

심준환 ,  김우정 ,  류인식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

2㎜×2㎜ 압저항형 가속도센서 설계 및 제작

전연화 ,  김현철

전자공학회논문지

2015 .02

표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )

김종팔 ,  한기호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

다결정 실리콘 MOSFET 제작과 전류-전압 특성 ( The Fabrication of Polysilicon MOSFET and The I-V characteristics )

안상훈 ,  김성영 ,  박종태 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

An Accelerometer with Polysilicon Piezoresistors Bulk-Micromachined Using a p+ Silicon Etch-Stop Layer

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1996 .10

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

다결정 실리콘 자기정렬에 의한 바이폴라 트랜지스터의 제작 ( The Fabrication of Polysilicon Self-Aligned Bipolar Transistor )

채상훈 ,  구용서 ,  이진효

전자공학회논문지

1986 .11

범프 본딩된 압저항 실리콘 가속도센서의 제조 ( Fabrication of Bump Bonded Piezoresistive Silicon Accelerometer )

심준환 ,  이상호 ,  이종현

전자공학회논문지-D

1997 .07

2 자유도 가속도계 제작 및 오차보정

김일선 ,  이장규 ,  박찬국 외 2명

한국항공우주학회지

1990 .09

TPMS용 4빔 실리콘 미세 압저항형 가속도센서의 설계 및 제작

박기웅 ,  김현철

전자공학회논문지-SD

2012 .02

P⁺ 실리콘 박막을 이용한 폴리실리콘 압저항 가속도계의 제작 및 측정

양의혁 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07