압전저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구 ( Study on a Silicon Resonator for Piezoresistive Accelerometers )

양상식 ,  양의혁

대한기계학회 춘추학술대회

1992 .01

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1992 .10

수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구

성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작

전연화 ,  박기웅 ,  김현철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

SOI 기술의 연구동향

이종현

전자공학회지

1987 .08

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

수소 플라즈마에 의해 표면 활성화된 실리콘 기판을 이용한 SOI 기판 제작에 관한 연구

최우범 ,  주철민 ,  이종석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

실리콘 직접 접합을 위한 선형가열법의 개발 및 SOI 기판에의 적용

이진우 ,  강춘식 ,  송오성 외 1명

한국표면공학회지

2000 .04

SOI구조를 이용한 결정질 규소 태양전지 제조

이상훈 ,  이강민 ,  김영관

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2000 .11

Fabrication of High Performance Pressure Sensor Using SOI Technology

Se Gon Choi

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1991 .01

APPLICATIONS OF SOI DEVICE TECHNOLOGY

Kunkul Ryoo

한국표면공학회지

1996 .10

SOI MOS 소자의 제조 ( The Fabrication of SOI MOS device )

조찬섭 ,  양천순 ,  이종현

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

n채널 SOI MOSFET의 제작과 특성 ( Fabrication and Characterization of the N-Channel SOI MOSFET )

윤석범 ,  김춘근 ,  민석기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성 ( Crystalline and Electrical Properties of a Thin-Film SOI )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조

최광수

한국재료학회지

2005 .01

SOI웨이퍼를 이용한 마이크로가속도계 센서의 열응력해석(Ⅰ)

김옥삼

동력시스템공학회지

2001 .05

Silicon Thin-body를 이용한 100㎚ 이하 SOI-NMOSFET에서의 제작

양종헌 ,  백인복 ,  오지훈 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07