P⁺ 실리콘 박막을 이용한 폴리실리콘 압저항 가속도계의 제작 및 측정

양의혁 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1992 .10

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구 ( Study on a Silicon Resonator for Piezoresistive Accelerometers )

양상식 ,  양의혁

대한기계학회 춘추학술대회

1992 .01

압전저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )

조찬섭 ,  심준환 ,  이종현

전자공학회논문지-A

1994 .11

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

붕소 식각 정지층을 이용한 두 개의 한 방향 실리콘 미세 밸브의 제작

서정덕 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )

김종팔 ,  한기호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

p+ 컨틸레버 빔을 이용한 다결정 실리콘 압저항 가속도계의 제작

지영훈 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

결정립 식각 기술을 이용한 다결정 실리콘 부착 방지 구조 ( Polysilicon Anti-sticking Structure by Grain Etching Technique )

이용주 ,  박명규 ,  전국진

전자공학회논문지-D

1998 .02

새로운 구조를 갖는 실리콘 가속도계의 재평형 루프 설계

성상경 ,  이장규 ,  강태삼 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

폴리실리콘 슬러지의 치환율에 따른 모르타르의 강도특성

임정근 ,  이상수 ,  송하영

대한건축학회 학술발표대회 논문집

2014 .04

Understanding of the Role of Polysilicon Layer in Passivating Contact Solar Cells

HyunJung Pa ,  k ,  Se Jin Pa 외 10명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2019 .11

실리콘 문화 96

유영욱

CAD 및 VLSI 설계연구회지

1996 .01