나노스크래치와 KOH 에칭 기술을 병용한 Si (100) 패턴제작

윤성원 ,  이정우 ,  강충길

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2003 .05

낮은 손실률을 갖는 실리콘 모듈레이터 제작을 위한 KOH 습식각 기술

강찬민 ,  박정호

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

KOH 수용액에서의 전기화학적 식각정지특성

오동환 ,  김문협 ,  김성진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Fabrication of Vertical Sidewall Using Double-Sided KOH Etching of {100} Silicon

Hyun-Seok Kim ,  Yong-Seung Bang ,  Eun-Seok Song 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

초정밀 나노구조물 형성을 위한 새로운 KOH 습식각 기술

강찬민 ,  박정호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

KOH 이방성에칭을 이용한 나노채널 및 나노와이어 제작

이강호 ,  조영학 ,  배윤기 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

적정 집속이온빔 (FIB) 이온 Dose 와 KOH Etching 을 이용한 나노구조의 제작

장기환 ,  김충수 ,  이현택 외 2명

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2014 .02

A Novel Compensation Method for KOH Etching of ( 110 ) Silicon

김병욱 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

멤브레인 구조 제작은 위한 단결정 실리콘의 이방성 습식 식각

조남인 ,  강창민

한국반도체장비학회지

2003 .01

마스크리스 나노 패턴제작을 위한 나느스크래치 된 Si (100) 표면의 식각 마스크 효과에 관한 연구

윤성원 ,  강충길

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2004 .05

광조형을 이용한 마스크리스 패턴형성에 관한 연구

정영대 ,  조인호 ,  손재혁 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

The Optimum Condition of Anisotropic Bulk (110) Si Etching with KOH for High Selectivity and Low Surface Roughness

Hyung-Teak Lim ,  Yong-Kweon Kim ,  Seung-Ki Lee

Journal of Electrical Engineering and information Science

1997 .10

다양한 습식식각법을 이용한 (100), (110), (111) Si tip의 제작

박홍우 ,  주병권 ,  고창기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

초발수 표면 제작을 위한 표면 조도에 따른 마스크리스 리소그래피 기반의 마이크로 패턴 제작에 대한 연구

채악 ,  조명우 ,  조용규 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

평면 광스플리터와 리본형 광파이버의 정밀 결합을 위한 V-groove연결소자의 제작

정석희 ,  서화일 ,  오현철 외 1명

반도체및디스플레이장비학회지

2007 .01

KOH 이방성 실리콘 식각용액 중에서 UBM의 보호 방법

이상환 ,  주관종 ,  문종태 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

폴리아크릴로니트릴계 활성나노탄소섬유의 기공특성이 이산화탄소 흡착에 미치는 영향

이다영 ,  조세호 ,  김예솔 외 1명

폴리머

2013 .09