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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.6
수록면
11 - 12 (2page)

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#Chemical Mechanical Polishing(화학기계적 연마) #Lithium tantalite(리튬탄탈레이트) #Substrate(기판) #Compound semiconductor(화합물반도체)

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