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화학기계적 연마(CMP) 공정과 관련연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
CMP 공정 후의 오염 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
화학기계적연마(CMP) 공정에서의 환경부하 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2012 .10
선접촉 CMP가공기의 개발과 연마특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
화학 기계적 연마에서 마찰력 감소에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
기계-화학적 연마가공에서의 연마입자-웨이퍼표면간 접촉강성 및 마찰력연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
CMP 공정의 압력 모니터링 시스템
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .11
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
화학기계적연마(CMP) 컨디셔닝에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1999 .05
CMP개론 및 현황
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
CMP 공정중 발생하는 AE 신호의 FFT 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
CMP 공정에서 발생하는 연마온도 분포에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .03
반도체 CMP공정에서의 웨이퍼 표면결함 생성 메커니즘에 대한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2012 .04
CMP의 화학 기계적 균형
기계저널
2016 .07
CMP 공정에서의 패드 물성변화 및 입자 거동에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향
대한기계학회 논문집 A권
2004 .11
CMP공정에서 연마결과에 영향을 미치는 패드 물성치에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .03
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
연마입자 크기가 CMP 공정의 연마균일도에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2004 .11
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