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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
성인하 (한남대학교) 한흥구 (한국과학기술연구원) 공호성 (한국과학기술연구원)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2009년도 제49회 추계학술대회
발행연도
2009.11
수록면
168 - 171 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

입자연마가공에서 표면-입자 접촉에 대한 시뮬레이션 연구
성인하 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010.06 학술대회자료

2009

입자 연마 가공에서의 연마 입자-공작물 표면간 접촉에 따른 마찰해석
성인하 ,  한흥구 ,  공호성 한국트라이볼로지학회 학술대회 2009.11 학술대회자료

2008

기계-화학적 연마가공에서의 연마입자-웨이퍼표면간 접촉강성 및 마찰력연구
성인하 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.11 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, the relationship between the material removal rate and the interfacial mechanical properties at particle-surface contact situation, which can be seen in an abrasive machining process using micro/nano-sized particles, was discussed. Friction and stiffnesses were measured experimentally on an atomic force microscope (AFM) by using colloidal probes which have a silica colloid particle in place of tip to simulate a particle-flat surface contact in an abrasive machining process. From the experimental investigation and theoretical contact analysis, the interfacial contact properties such as lateral stiffness of contact, friction, the material removal rate were presented with respect to some of material surfaces and the relationship between the properties as well.
#abrasive particle #chemical mechanical polishing(CMP) #contact stiffness #material removal rate(MRR) #tribology

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 내용 및 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
후기
참고문헌

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