Characterization of Phosphate Electrolytes with Different Additives for Use in Cu Electrochemical Mechanical Planarization

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#Electrochemical Mechanical Planarization #benzotriazole #phenyl-tetrazole #copper electrode

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Paula Cojocaru

소속기관 한국표면공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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