CMP (Chemical Mechanical Planarization) 공정 중 Ceria Particle의 특성에 관한 연구

홍의관; 박진구

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 홍의관 (한양대학교 금속재료공학과) 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2000년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2000.1

수록면: 51 - 51 (1page)

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홍의관

소속기관 한양대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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박진구

소속기관 한양대학교 재료공학과

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