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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제24권 제5호
발행연도
2008.10
수록면
255 - 263 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (9)

2009

열가소성 폴리머 필름의 트라이볼로지 특성에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2009.08 학술저널
열가소성 폴리머 필름의 마이크로 점착 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2009.04 학술저널

2008

열가소성 폴리머 필름의 마이크로 점착 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2008.11 학술대회자료
열 나노임프린트 리소그래피에서의 몰드와 열가소성 폴리머 필름 사이의 응착 특성
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2008.10 학술저널
열가소성 폴리머 필름의 마이크로 점착 및 마찰 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2008.06 학술대회자료

2007

열가소성 폴리머 필름의 나노 응착 및 마찰 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  安藤泰久 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2007.12 학술저널

2006

나노임프린트 리소그래피용 열가소성 폴리머 필름과 자가조립단분자막 사이의 점착에 관한 연구
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2006.11 학술대회자료
열 나노임프린트 리소그래피에서 사용되는 스탬프와 폴리머 재료 사이의 점착 특성
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2006.08 학술저널
열 나노임프린트 리소그래피 공정 소재용 스탬프와 폴리머 필름 사이의 점착력 측정
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2006.06 학술대회자료

초록· 키워드

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Adhesion tests were conducted to investigate the adhesion characteristics between mold and thermoplastic polymer film. Coating of anti-sticking layer (ASL), a kind of polymer material, imprint pressure, and separation velocity were considered as the process conditions. A piece of fused silica without patterns on its surface was used as a mold and the thermoplastic polymer films were made on Si substrate by spin-coating the commercial polymer solution such as mr-I PMMA and mr-I 7020. The ASL was derived from (1H, 1H, 2H, 2H -perfluorooctyl) trichlorosilane(F₁₃-OTS) and coated on the fused silica mold in vapor phase. The pull-off force was measured in various process conditions and the surfaces of the mold and the polymer film were observed after separation. It was found that the adhesion characteristics between the mold and the thermoplastic polymer film and the release performance of ASL were changed according to the process conditions. The ASL was effective to reduce the pull-off force and the damage of polymer film. In cases of the mold coated with ASL, the pulloff force did not depend on imprint pressure and separation velocity.
#thermal nanoimprint lithography(열 나노임프린트 리소그래피) #adhesion(응착) #anti-sticking layer(응착방지막) #thermoplastic polymer film(열가소성 폴리머 필름)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고 문헌

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