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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.6
- 수록면
- 95 - 102 (8page)
이용수
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2009
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Nanoimprint lithography (NIL) is one of the most promising nanofabrication technologies to fabricate integrated nano-size patterns due to its high-throughput and large processing latitude at low cost. However, adhesion between a stamp and a polymer film occurs inevitably in NIL because a stamp physically contacts with a polymer film. In order to reduce the adhesion, an anti-sticking film is usually used. In this paper, the adhesion characteristics between stamp coated with an anti-sticking film and a thermoplastic polymer film used in thermal NIL are investigated experimentally. The anti-sticking films are derived from fluoroalkylsilanes ((1H, 1H, 2H, 2H perfluorooctyl)trichlorosilane(F₁₃OTS), (3,3,3-trifluoropropyl)trichlorosilane(FPTS)) and coated on a fused silica stamp in vapor phase. The adhesion force between the stamp and the polymer film is measured and the surfaces of stamp and polymer film after separation are observed. The anti-sticking films remarkably reduce adhesion force by one fifth and damages of polymer film surface. It is also found that the anti-sticking film derived from FPTS which has shorter chain length than F₁₃OTS is less effective to reduce adhesion force than that derived from F₁₃OTS, but both of them do not make any damages on the surface of polymer films.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 실험 결과
4. 결론
후기
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