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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제22권 제4호
발행연도
2006.8
수록면
182 - 189 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (9)

2009

열가소성 폴리머 필름의 트라이볼로지 특성에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2009.08 학술저널
열가소성 폴리머 필름의 마이크로 점착 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2009.04 학술저널

2008

열가소성 폴리머 필름의 마이크로 점착 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2008.11 학술대회자료
열 나노임프린트 리소그래피에서의 몰드와 열가소성 폴리머 필름 사이의 응착 특성
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2008.10 학술저널
열가소성 폴리머 필름의 마이크로 점착 및 마찰 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2008.06 학술대회자료

2007

열가소성 폴리머 필름의 나노 응착 및 마찰 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  安藤泰久 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2007.12 학술저널

2006

나노임프린트 리소그래피용 열가소성 폴리머 필름과 자가조립단분자막 사이의 점착에 관한 연구
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2006.11 학술대회자료
열 나노임프린트 리소그래피에서 사용되는 스탬프와 폴리머 재료 사이의 점착 특성
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2006.08 학술저널
열 나노임프린트 리소그래피 공정 소재용 스탬프와 폴리머 필름 사이의 점착력 측정
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2006.06 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, the adhesion characteristics between a fused silica without or with an anti-sticking layer and a thermoplastic polymer film used in thermal NIL were investigated experimentally in order to identify the release performance of the anti-sticking layer. The anti-sticking layers were derived from fluoroalkylsilanes, (1H, 1H, 2H, 2H-perfluorooctyl)trichlorosilane (F<SUB>13</SUB>-OTS) and (3, 3, 3-trifluoropropyl)trichlorosilane (FPTS), and coated on the silica surface in vapor phase. The commercial polymers, mr-I 7020 and 8020 (micro resist technology, GmbH), for thermal NIL were spin-coated on Si substrate with a rectangular island which was fabricated by conventional microfabrication process to achieve small contact area and easy alignment of flat contact surfaces. Experimental conditions were similar to the process conditions of thermal NIL. When the polymer film on the island was separated from the silica surface after imprint process, the adhesion force between the silica surface and the polym film was measured and the surfaces of the silica and the polymer film after the separation were observed. As a result, the anti-sticking layers remarkably reduced the adhesion force and the surface damage of polymer film and the chain length of silane affects the adhesion characteristics. The anti-sticking layers derived from FPTS and F<SUB>13</SUB>-OTS reduced the adhesion force per unit area to 38% and 16% of the silica surfaces without an anti-sticking layer, respectively. The anti-sticking layer derived from F<SUB>13</SUB>-OTS was more effective to reduce the adhesion, while both of the anti-sticking layers prevented the surface damages of the polymer film. Finally, it is also found that the adhesion characteristics of mr-I 7020 and mr-I 8020 polymer films were similar with each other.
#thermal nanoimprint lithography #adhesion #anti-sticking layer #thermoplastic polymer film

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고 문헌

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