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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
김광섭 (한국과학기술원) 강지훈 (한국과학기술원) 김경웅 (한국과학기술원)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2006년도 제43회 추계학술대회
발행연도
2006.11
수록면
86 - 93 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (9)

2009

열가소성 폴리머 필름의 트라이볼로지 특성에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2009.08 학술저널
열가소성 폴리머 필름의 마이크로 점착 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2009.04 학술저널

2008

열가소성 폴리머 필름의 마이크로 점착 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2008.11 학술대회자료
열 나노임프린트 리소그래피에서의 몰드와 열가소성 폴리머 필름 사이의 응착 특성
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2008.10 학술저널
열가소성 폴리머 필름의 마이크로 점착 및 마찰 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  허정철 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2008.06 학술대회자료

2007

열가소성 폴리머 필름의 나노 응착 및 마찰 거동에 대한 온도의 영향
김광섭 ,  安藤泰久 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2007.12 학술저널

2006

나노임프린트 리소그래피용 열가소성 폴리머 필름과 자가조립단분자막 사이의 점착에 관한 연구
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2006.11 학술대회자료
열 나노임프린트 리소그래피에서 사용되는 스탬프와 폴리머 재료 사이의 점착 특성
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2006.08 학술저널
열 나노임프린트 리소그래피 공정 소재용 스탬프와 폴리머 필름 사이의 점착력 측정
김광섭 ,  강지훈 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2006.06 학술대회자료

초록· 키워드

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In this study. experiments was performed to investigate adhesion characteristics between self-assembled monolayer(SAM) coated on fused silica and thermoplastic polymer film used in thermal nanoimprint lithography. The pull-off force between the SAM and the polymer film was measured and the surface damages of polymer film after separation was observed. In cases with SAM, the pull-off force decreased to 40-80% of that in cases without SAM. The surface damages of polymer film also decreased. The imprint pressure did not affect the pull-off force. but the pull-off force slightly increased and decreased as the separation velocity increased. The releasing performance of SAM was independent of the imprint pressure and separation velocity.
#nanoimprint lithography(나노임프린트 리소그래피) #adhesion(점착) #anti-sticking layer(점착방지막) #polymer film(폴리머 필름)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 실험 결과
4. 결론
후기
참고문헌

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