반도체 플라즈마 식각 시스템의 균일도 향상을 위한 CCP와 ICP 결합 임피던스정합 장치

鄭斗溶 ,  南昌佑 ,  李正鎬 외 2명

전력전자학회논문지

2010 .08

불순물 혼입이 스테인레스 304L 용접부에 미치는 영향

강희재 ,  배범찬 ,  지춘호 외 1명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2016 .04

실리콘에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

배전용 전력케이블의 반도전층에 함유되어 있는 불순물 분석

김상준 ,  송일근 ,  김주용 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

유도 결합 플라즈마 기술

이효창

인포메이션 디스플레이

2017 .01

실리콘에서의 2차원적 불순물의 분포의 산출 ( Characterization of Two-Dimensional Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

전자공학회논문지

1986 .11

4세대 가속기 고정밀 고전압CCPS 개발

문용조 ,  박성수 ,  김상희 외 11명

전력전자학회 학술대회 논문집

2012 .07

고농도 불순물 확산 공정을 위한 3차원 시뮬레이션에 관한 연구 ( A Study on the Three-Dimensional Simulation for High Concentration Impurity Diffusion Process )

이준하 ,  변기량 ,  황호정

전자공학회논문지-A

1996 .08

수치해법에 의한 실리콘에서의 불순물의 분포의 산출 ( Numerical Evaluation of Impurity Profile in Silicon )

오형철 ,  경종민

전자공학회지

1984 .11

분자 단위 승온 불순물 측정, 진단 및 분석기술에 대한 고찰

임종연 ,  임철환 ,  김경동 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Polyester 섬유직물에 함유된 불순물이 염색성에 미치는 영향

박민식 ,  장철민 ,  엄재영 외 2명

한국염색가공학회지

1998 .02

반도체 내에서의 2차원 불순물 분포를 얻기 위한 수치해법의 비교 ( Comparison of Numerical Methods for Obtaining 2-D Impurity Profile in Semiconductor )

양영일 ,  경종민 ,  오형철

전자공학회지

1985 .05

실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석

권오근 ,  박화식 ,  송영진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석 ( Finite Element Analysis of Impurity Diffusion in Silicon )

권오근 ,  박화식 ,  송영진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출 ( A Production of Two-dimensional impurity using Boundary Element Method in Silicon )

김찬규 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출

김찬규 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

CCP 유지 보수 기능 설계

신성문 ,  임영식 ,  이동수

[ETRI] 전자통신동향분석

1993 .12

경수로 구조재 내 불순물 조성 및 함량이 중성자 방사화 핵종 재고량에 미치는 영향 분석

차길용 ,  김순영 ,  이재민 외 1명

방사성폐기물학회지

2016 .01

축전 용량이 고려된 평판형 유도 결합 플라즈마 원의 등가회로 모델

김정미 ,  권득철 ,  윤남식

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

Production and Utilization of CCPs in 2003 in Europe

한국석탄회재활용협회

플라이애쉬

2004 .01