평판형 유도결합 플라즈마원의 등가회로 모델 정립

李宗圭 ,  權得哲 ,  柳東勳 외 1명

전기학회논문지 C

2005 .05

FEM이 적용된 등가회로 파라미터에 의한 축전류 해석

전지훈 ,  권병일

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .04

평판형 유도결합 플라즈마 장치의 CF₄ 방전에 대한 Global Simulation

권득철 ,  유동훈 ,  김성식 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

유도 결합 플라즈마 기술

이효창

인포메이션 디스플레이

2017 .01

대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석

김이슬 ,  이재욱

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .11

유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구

신홍민 ,  최경철 ,  김원규 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

유도결합플라즈마를 이용한 Carbon Ion Source 개발

김대일 ,  최대한 ,  장호성 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마를 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

자동차 전력 시스템의 전기적 등가회로 모델 개발에 관한 연구

최대호 ,  이재인 ,  선우명호

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

선형유도전동기의 등가회로 구성 : LIM의 T형 등가회로 산정을 위한 구속시험

장석명 ,  이현구 ,  박영태 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구

정승재 ,  이광희 ,  이정중 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

고엔탈피 열유동 발생용 고주파 유도결합 플라즈마 토치의 최적 설계변수 해석

서준호

한국항공우주학회지

2012 .04

배터리 등가회로모델의 실시간 모델링 방법 개선

김재구 ,  안정훈 ,  이병국

전력전자학회 학술대회 논문집

2015 .11

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

등가회로 모형에 의한 환단면형 유도전자펌프의 설계 해석 ( Design Analysis of Annular induction Electromagnetic Pump by Equivalent Circuit Modeling )

김희령 ,  임기학 ,  홍상희

에너지공학

1995 .10

유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

나선형 인덕터 등가회로 모델에 대한 실험적 고찰

홍기철 ,  김혜원 ,  어영선

대한전자공학회 학술대회

2010 .06

불순물을 함유한 철에 대한 축전 결합 플라즈마 처리 결과

이헌수 ,  서상훈 ,  김용훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10