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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2004.5
수록면
116 - 116 (1page)

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2004

유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering에 의한 평판 디스플레이 (FPD)용 ITO 박막의 저온 증착
구범모 ,  정승재 ,  한영훈 외 2명 한국표면공학회지 2004.06 학술저널
유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering을 이용한 투명전도성 ITO 박막의 저온 증착 및 특성 연구
구범모 ,  정승재 ,  한영훈 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004.05 학술대회자료

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목차

1. 서론
2. 본론
3. 결과
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