Heat Transfer Analysis in ICP Assisted Bipolar Pulsed DC Magnetron Sputtering

Won Kyun Yang; Jung Hoon Joo

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Won Kyun Yang Jung Hoon Joo

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 INTERFINISH 2008

발행연도: 2008.6

수록면: 558 - 558 (1page)

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#AZO #bipolar pulse DC sputtering #ICP #Substrate temperature

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