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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
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The properties of (Ti,Al)N coatings deposited by inductively coupled plasma assisted d.c. magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
유도결합 플라즈마-마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 저온 폴리실리콘 제조
한국표면공학회지
2004 .06
유도결합 플라즈마(ICP) 스퍼터링법을 이용한 CrB₂ 박막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Cr-Zr-N 박막의 기계적 특성분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
유도결합 플라즈마 스퍼터링법을 이용한 상온에서의 TiN막의 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
In-Line type ICP 마그네트론 스퍼터링 장치의 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
펄스 마그네트론 스퍼터링에 증착된 Ti 박막의 특성에 미치는 펄스 변수에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
ICP 스퍼터링법에 의하여 제조된 TiN 피막의 기계적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .05
Deposition of (Ti,Cr)N-MoS₂ Thin Films by D.C Magnetron Sputtering
한국표면공학회지
2006 .04
하이브리드 코팅시스템에 의해 제조된 Ti-Cr-Si-N 박막의 미세구조 및 기계적 특성연구
한국표면공학회지
2005 .06
Ti가 함유된 스테인리스강에서 Ti, Ti/Cr코팅표면과 플라즈마질화표면의 부식특성
한국표면공학회지
2002 .12
Syntheses and Properties of Quaternary Cr-Ti-B-N Coatings by a High Power Impulse Magnetron Sputtering Technique
한국표면공학회지
2012 .12
Characteristics of Ti-O-N thin film prepared by reactive magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
이온 플레이팅법으로 제조한 (Ti1-xCrx)N 및 농도경사 (Ti,Cr)N 박막의 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .05
마그네트론스퍼터링 증착에 의한 초고경도 Ti-B-C와 Ti-B-C-N 코팅막의 미세구조 및 기계적특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
Effect of Nitrogen Flow Ratio on Composition, Microstructure, and Mechanical Properties of Cr-B-O-N Films Deposited by Pulsed Direct Current Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Influence of Bias Voltage on the Microstructure and Properties of Ti-Si-N Films Deposited by Using High-power Impulse Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
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