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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
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유도결합 플라즈마 스퍼터링법을 이용한 상온에서의 TiN막의 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
유도 결합형 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 성장
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )
전자공학회논문지-A
1992 .04
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
rf 플라즈마 화학기상증착기의 제작 및 특성
한국표면공학회지
2000 .04
ECR 플라즈마 기상화학 증착법에 의해 증착된 TiN 박막의 비저항, 피복성 및 확산 방지 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
TiN피막의 경도 및 구조적 특성에 미치는 화학증착 조건의 영향
한국표면공학회지
1987 .09
유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
유도결합형 화학기상증착법을 이용한 탄소 나노튜브의 합성과 전계 방출 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
유도 결합 플라즈마 스퍼터링 증착법에 의한 광촉매용 TiO₂ 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
플라즈마 화학증착법에 의한 TiN/(Ti,Al)N 다층박막의 제조 및 기계적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
플라즈마 잠김 이온주입 및 증착법으로 제작된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
경사 증착법으로 제조된 TiN 박막의 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성 ( Deposition and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )
전자공학회논문지-SD
2000 .06
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