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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
유도결합 플라즈마 증발법을 이용한 CrN 박막 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
유도 결합형 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 성장
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
유도 결합 플라즈마 화학기상 증착법에 의한 TiN 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
자화된 유도 결합형 플라즈마를 이용한 다이아몬드성 탄소박막 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .11
유도 결합형 플라즈마를 이용한 감광제 제거 반응로의 설계
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
유도 결합형 플라즈마를 이용한 감광제 제거 반응로의 설계 ( Design of Inductively Coupled Plasma Ashing Chamber )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
유도 결합 플라즈마 스퍼터링 증착법에 의한 광촉매용 TiO₂ 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
내장형 Multiple U-type 안테나를 이용한 나노 다결정 실리콘의 증착에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
반응성 유도결합 플라즈마 시스템에서 방전시 압력 변화의 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
다양한 폴리머 기판의 유도결합플라즈마 전처리
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
유도결합 플라즈마 화학기상증착법에 의해 활성화된 탄소원자를 이용한 Ni/SiO/Si 기판에서 그래핀 성장
한국재료학회지
2013 .01
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