D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 MoS₂ 및 MoS₂-Ti 박막의 윤활특성에 관한 연구

안영환 ,  김선규

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

Magnetron Sputtering 법을 이용한 Mo-Cu 박막의 특성

이한찬 ,  문경일 ,  이붕주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

MOS 구조의 특성

성영권 ,  여권 ,  이상훈

대한전기학회 학술대회 논문집

1986 .07

Mo-Cu 단일 합금타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 박막의 마찰특성

이한찬 ,  윤혜원 ,  정훈 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 MoS₂ 박막의 윤활 특성에 관한 연구

안영환 ,  김선규

한국표면공학회지

2000 .08

DC 스퍼터링을 이용한 시간 변수에 따른 Mo박막의 구조적 특성

김한울 ,  양현훈 ,  이창권 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

동작속도가 빠른 Mo2N/Mo 게이트 MOS 집적회로 ( High Speed Mo2N/Mo-Gate MOS Integrated Circuit )

김진섭 ,  이우일 ,  이대우 외 1명

전자공학회지

1985 .07

D.C. 마그네트론 스퍼터링법에 의한 CrN-MoS₂ 박막의 제조

김선규 ,  차병철

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

광택기 제조를 목적으로 한 스퍼터링을 이용한 Mo 증착과 불산 습식 식각 특성 연구

김도형 ,  이호덕 ,  권상직 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

Magnetron Sputtering법에 의해 증착한 MoS₂ 박막의 고진공하에서의 트라이블로지적 특성 ( Tribological characteristics of sputtered MoS₂ films with Magnetron Sputtering Method in High Vacuum )

안찬욱 ,  김석삼 ,  이상로

한국트라이볼로지학회 학술대회

2000 .11

Mo-Cu 합금타겟을 이용하여 스퍼터링법으로 제작한 박막의 마찰특성

이한찬 ,  윤혜원 ,  김수빈 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

D MOS , V MOS tr. 등 특수구조를 갖는 MOS소자의 설계

성만영

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

자기 정렬된 Mo2N/Mo 게이트 MOSFET의 제조 및 특성 ( Fabrication of Self-Aligned Mo2N/Mo-Gate MOSFET and Its Characteristics )

김진섭 ,  이종현 ,  이덕동 외 1명

전자공학회지

1984 .11

자기 정렬된 Mo2N / Mo 게이트 MOSFET의 제조 및 특성 ( Fabrication of Self-Aligned Mo2N / Mo-Gate MOSFET and Its Characteristics )

김진섭 ,  이종현 ,  이덕동 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

스퍼터링을 이용한 리튬이온배터리용 MoS₂ 박막전극

문상현 ,  김시진 ,  김민철 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2016 .05

MOS Processing

이종덕

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

플라즈마 식각 공정이 N2O 산화막과 순수한 산화막을 갖는 MOS 소자 특성에 미치는 영향에 관한 연구 ( A Study on the Effect of Plasma Etching Process on the Characteristics of MOS Devices with N2O and Pure Gate Oxides )

윤재석 ,  이상돈 ,  김봉렬

전자공학회논문지-A

1996 .09

Study on the n+ etching process in TFT-LCD Fabrication for Mo/Al/Mo Data Line

Choe ,  Hee-Hwan ,  Kim 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2004 .01

스퍼터링법에 의해 형성된 MoS2 박막의 막질 향상을 위한 황화공정 최적화

최영준 ,  김지민 ,  이종욱 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2017 .11