PROPERTIES OF Mo COMPOUNDS AS A DIFFUSION BARRIER BETWEEN Co AND Si PREPARED BY CO-SPUTTERING

Yong-Hyuk Lee ,  Jun-Yong Pa ,  k 외 2명

한국표면공학회지

1999 .06

Cu diffusion barrier로서의 Ta-Si-N 화합물의 특성에 관한 연구

신영훈 ,  김종철 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MoSi ( N ) as a Diffusion Barrier between Cu and Si

J. Y. Pa ,  k ,  Y. H. Lee 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Cu와 Si간의 확산방지막으로서의 Ti-Si-N에 관한 연구

오준환 ,  이종무

한국재료학회지

2001 .01

고 Si 구상흑연주철의 조직과 기계적성질에 미치는 Si과 Mo의 영향

김종연 ,  나형용

한국주조공학회지 (주조)

1990 .01

Copper 함량에 따른 Mo-Cu-N 박막의 미세구조 변화에 대한 연구

신정호 ,  최광수 ,  왕계민 외 1명

한국표면공학회지

2010 .12

Cu 첨가가 Mo-Cu-N 코팅의 미세구조와 기계적 특성에 미치는 영향

김수빈 ,  윤혜원 ,  이한찬 외 2명

한국표면공학회지

2019 .08

Cu배선을 위한 Ta-Si-N Barrier에 관한 연구

신영훈 ,  김종철 ,  이종무

한국재료학회지

1997 .01

Cu의 확산방지막으로서 Nb-Si-N의 열적안정성

배형진 ,  신영훈 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

방전 플라즈마 소결법으로 제작한 Mo-Cu 합금의 열적, 전기적 특성

이한찬 ,  이붕주

전기학회논문지

2017 .11

Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구

박기철 ,  김기범

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구 ( A Study on the Stuffed TiN Thin Films as a Diffusion Barrier between Cu and Si )

박기철 ,  김기범

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Mo-Cu-X(X=Ni, S, V) 합금타겟을 이용하여 제작한 나노복합박막의 기계적 특성

문경일 ,  이한찬 ,  윤혜원 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Mo-Cu 단일 합금타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 박막의 Cu 함량에 따른 연구

이한찬 ,  신백균 ,  문경일

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Effect of Cu Diffusion in Cu / TiN / SiO2 / Si Capacitors by C-V Measurements

곽미영 ,  조훈영 ,  신동혁 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

극저 C-Si-Mn-Ni-Mo 용착금속에 있어 Mo의 영향 ( The effect of Mo in the low C-Si-Mn-Ni-Mo weld metal )

강봉용 ,  김희진

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

1999 .01

Cu/Zr(Si)N/Si 구조에서 Zr(Si)N 박막의 확산방지 특성

김좌연 ,  조병철 ,  이희환 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

자동차 부품용 내열, 고온 내산화성 고Si 구상흑연주철의 제조기술개발

김석원 ,  우기도 ,  한상원 외 1명

한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집

1996 .06

Ta-Si-N박막의 조성에 따른 결정구조 및 구리 확산 방지 특성 연구

정병효 ,  이원종

한국재료학회지

2011 .01