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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제39권 제3호
발행연도
2006.6
수록면
110 - 114 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

하이브리드 코팅시스템에 의해 제조된 Mo-Si-N 박막의 미세구조 및 기계적 특성연구
허수정 ,  윤지환 ,  강명창 외 1명 한국표면공학회지 2006.06 학술저널
Hybrid 코팅시스템에 의해 증착된 Mo-Si-N 코팅막의 합성 및 기계특성
허수정 ,  윤지환 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006.04 학술대회자료

초록· 키워드

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In this work, comparative studies on microstructure and mechanical properties between Mo₂N and Mo-Si-N coatings were conducted. Ternary Mo-Si-N coatings were deposited on AISI D2 steel substrates by a hybrid method, where AIP technique was combined with a magnetron sputtering technique. Instrumental analyses of XRD, HRTEM, and XPS revealed that the Mo-Si-N coatings must be a composite consisting of fine Mo₂N crystallites and amorphous Si₃N₄. The hardness value of Mo-Si-N coatings significantly increased from 22 GPa of Mo₂N coatings to about 37 GPa with Si content of 10 at.% due to the refinement of Mo₂N crystallites and the composite microstructure characteristics. The average friction coefficient of the Mo-Si-N coatings gradually decreased from 0.65 to 0.4 with increasing Si content up to 15 at.%. The effects of Si content on microstructure and mechanical properties of Mo-N coatings were systematically investigated.
#Mo-Si-N #Hybrid coating system #Microstructure #Mechanical properties

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (8)

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