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목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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한국표면공학회 학술발표회 초록집
1996 .11
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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li₂O-B₂O₃-SiO₂계 비정질 박막고체전해질의 증착변수에 따른 이온전도특성에 관한 연구
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1993 .11
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RF 스퍼터링으로 제작된 Li Ti P 계 고체 전해질 박막에서의 리들 이온 전도 특성
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
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RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
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RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
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RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구
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2019 .05
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고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구
전기학회논문지
1996 .06
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RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
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고주파 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SiO₂ 절연박막의 구조분석 및 절연저항에 관한 연구
한국표면공학회지
2002 .04
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화학기상증착 및 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 절연박막의 물성 분석 및 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2018 .11
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마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
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RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과
전기학회논문지 C
2000 .12
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RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 유기 EL용 ITO 박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
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RF 스퍼터링을 이용한 SiO2 / Ta2O5 , SiO2 / ZrO2 박막의 무반사 특성 ( Anti-Reflection Characteristic of SiO2 / Ta205 , SiO2 / ZrO2 Film using the RF Sputter )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
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$SiO_2$ RF Power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 $TiO_2-SiO_2$ 절연막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
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RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 MgO 박막의 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
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RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
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